一、產品概述

核心定位

1. MFM 模式：僅實時采集氣體質量流量，無調節輸出；

2. MFC 模式：內置寶德直動比例閥 + 集成 PI 調節器，自動閉環控流；

3. 支持 büS/Canopen 雙協議一鍵切換，搭配 ME43 網關可轉 Profinet、EtherNet/IP、Modbus TCP 等主流工業以太網，單網關最多掛載 32 臺 8742。

二、測量工作原理

1. 主通路內置層流分流元件，小部分氣體分流至內置硅芯片傳感副通道；

2. 芯片集成加熱電阻 + 上下游兩支溫度傳感；

3. 恒定功率加熱氣流，上下游溫差與氣體質量流量線性對應；

4. 芯片信號內置數字化補償，設備存儲最多 4 條氣體校準曲線，切換介質無需重新標定。

三、核心產品優勢

1. 超寬量程 + 微量適配

   標準量程 0.01~160 lN/min（氮氣基準），量程比 50:1，可選 100:1，氫氣、氦氣最高支持 1000 lN/min 微量大流量全覆蓋。

2. 高精度、極速響應、長期穩定

   測量精度 ±0.5% FS，重復性 ±0.2% FS；毫秒級響應，校準曲線長期無漂移，減少年度復檢頻次；標配存儲卡，整機更換一鍵導入參數，免現場重新標定。

3. 一體集成閉環控制

   搭載寶德原廠直動式比例閥，搭配內置 PI 控制器，無外置二次儀表，控流線性度優異，小流量無振蕩、大流量調節平穩。

4. 多通訊兼容，數字化產線適配

   雙版本可選：模擬信號版（4-20mA/0-10V）、純 Canopen/büS 數字總線版；適配自動化產線、多通道測試平臺集中控制。

5. 多認證，適配嚴苛工況

• 防爆：可選 ATEX II 3G/D 防爆認證；

• 衛生：USP VI、FDA、EC 1935 食品制藥合規；

• 防護：IP65/IP67 高防護，耐粉塵、水汽；

6. 多介質兼容

   空氣、氮氣、氧氣、氫氣、氦氣、氬氣、二氧化碳、甲烷、丙烷、乙炔等絕大多數工業工藝氣體。

7. 易維護、模塊化

   傳感與閥體模塊化結構，存儲卡備份全部標定、通訊、PID 參數，設備故障替換 5 分鐘恢復生產。

四、完整技術參數表

五、標準配套組合方案

1. 閥體配套：6011/6013/6027 直動閥、0330 二位三通換向閥；

2. 通訊配套：ME43 工業總線網關、ME63 以太網網關；

3. 配件：Micro SD 參數存儲卡、BUplus 調試服務工具；

六、主流應用行業場景

1. 新能源氫能：燃料電池電堆測試、制氫、氫燃料配比、氫氣稀釋配比；

2. 制藥 / 生物發酵：發酵罐氧氣 / 氮氣吹掃、無菌氣體配比、USP 衛生工藝；

3. 半導體 / 電子：晶圓鍍膜、等離子清洗、特種工藝氣體精準配比；

4. 熱工 / 材料加工：玻璃熔融、金屬熱處理、氣氛燒結保護氣控制；

5. 實驗室測試臺：燃燒試驗、氣體混合標定、環境模擬艙；

6. 包裝灌裝：惰性氣體置換、保鮮氣精準填充；

7. 化工精細工藝：微量反應氣體投料、催化實驗流量閉環控制。

七、選型注意事項

1. 區分需求：僅監測選 MFM，需要自動調節流量選 MFC；

2. 介質選型：氧氣工況必須限定介質溫度，易燃易爆氣體選配 ATEX 防爆款；

3. 通訊選型：單機簡易控制選 4-20mA 模擬；多通道自動化產線選 Canopen 數字總線；

4. 量程匹配：按實際最大工況流量 ×1.2 選型，避免長期滿量程降低壽命；

5. 衛生場景：制藥食品行業需確認 USP VI/FDA 認證版本。